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顯微激光測(cè)振儀
顯微激光測(cè)振儀特點(diǎn)：
非接觸測(cè)量，無負(fù)載；
激光光斑極小，微米級(jí)；
優(yōu)越的帶寬和動(dòng)態(tài)范圍；
高空間分辨率；
工作距離可選；
高靈活性、易安裝、易操作；
振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測(cè)量精度高
配有同軸照明裝置和相機(jī)，可以方便迅速地確定測(cè)量位置。
顯微激光測(cè)振儀擴(kuò)展功能：
利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測(cè)量物體面內(nèi)振動(dòng)特性(可定制)
通過白光干涉測(cè)量物體形貌特性(可定制)
顯微激光測(cè)振儀應(yīng)用領(lǐng)域：
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）動(dòng)態(tài)測(cè)試
生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動(dòng)物學(xué)研究，如昆蟲等生物的活體的振動(dòng)特性測(cè)量
計(jì)算機(jī)外設(shè)的動(dòng)態(tài)測(cè)試：硬盤驅(qū)動(dòng)器、光盤機(jī)、磁帶機(jī)、頭/盤接口等；
超聲振動(dòng)測(cè)量
壓電陶瓷振動(dòng)測(cè)量
弦線/絲線振動(dòng)特性測(cè)量
微型陀螺儀振動(dòng)測(cè)量
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顯微激光測(cè)振儀技術(shù)參數(shù) |
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工作溫度 |
3℃ - 45℃ |
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工作濕度 |
<90% |
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電 源 |
220 - 240Vrms，50-60Hz |
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激光波長(zhǎng) |
He-Ne Laser 632.8nm |
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速度量程① （可選） |
50mm/s，100mm/s，500mm/s 1m/s，5m/s，10m/s |
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輸出電壓 |
±10V |
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頻率范圍 |
DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz （根據(jù)解調(diào)卡而定） |
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濾波設(shè)置 |
高通低通濾波設(shè)置 |
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速度分辨率② |
1um/s |
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位移分辨率 |
0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz |
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大線性誤差 |
1.00% |
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機(jī) 架 （標(biāo)準(zhǔn)配置） |
反射用機(jī)架，低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。 粗調(diào)行程25mm，微調(diào)精度0.001mm。 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
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光學(xué)參數(shù) |
檢測(cè)器尺寸：1/2 測(cè)量距離：9mm（使用10X物鏡時(shí)） |
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觀測(cè)裝置 |
CMOS數(shù)碼相機(jī)： 320萬像素（USB2.0） |
注 ① 可以根據(jù)客戶要求選擇適當(dāng)量程
②采用高分辨率解調(diào)卡，速度分辨率可達(dá)0.02um/s
